Glossary entry (derived from question below)
English term or phrase:
metal plug (W) polish
Russian translation:
полировка металлического (вольфрамового) покрытия
Added to glossary by
Helg
Jan 2, 2012 17:44
12 yrs ago
English term
metal plug (W) polish
English to Russian
Tech/Engineering
Manufacturing
Изготовление п/п пластин
Many different types of wafers can potentially be run through
the same tool for different deposition layers. Each of these
will have different up-stream processing characteristics based
on the underlying layers, such as: photoresist ash and strip,
oxide or low-K etch, dielectric or low-K deposition, oxide and
metal plug (W) polish, wet clean, DI water rinse and dry.
the same tool for different deposition layers. Each of these
will have different up-stream processing characteristics based
on the underlying layers, such as: photoresist ash and strip,
oxide or low-K etch, dielectric or low-K deposition, oxide and
metal plug (W) polish, wet clean, DI water rinse and dry.
Proposed translations
(Russian)
| 4 | полировка металлического (вольфрамового) покрытия |
mk_lab
|
Change log
Jan 2, 2012 18:49: Olga Arakelyan changed "Visibility" from "Visible" to "Squashed"
Jan 2, 2012 18:52: Natalie changed "Visibility" from "Squashed" to "Visible"
Jan 2, 2012 18:53: Natalie changed "Term asked" from "oxide and metal plug (W) polish" to "metal plug (W) polish"
Proposed translations
1 hr
Selected
полировка металлического (вольфрамового) покрытия
полировка слоя оксида (кремния) и металлического (вольфрамового) покрытия
--------------------------------------------------
Note added at 1 hr (2012-01-02 19:16:28 GMT)
--------------------------------------------------
Из контекста трудно понять, что именно имеется в виду под plug (защитное, резистивное, или др. покрытие). Поэтому предложил общий вариант. Ну а то, что это вольфрам - понятно: W-такое у этого химического элемента обозначение в таблице Менделеева
--------------------------------------------------
Note added at 15 hrs (2012-01-03 09:15:15 GMT)
--------------------------------------------------
Вот ссылка на использование вольфрамовых покрытий в микроэлектронике:
maltiel-consulting.com/Tungsten_Plug_malt
Microchip Fabrication - Tungsten Plug /Microchip Fabrication ... tungsten is still the preferred metal because its integration into these features is well understood ...
--------------------------------------------------
Note added at 1 hr (2012-01-02 19:16:28 GMT)
--------------------------------------------------
Из контекста трудно понять, что именно имеется в виду под plug (защитное, резистивное, или др. покрытие). Поэтому предложил общий вариант. Ну а то, что это вольфрам - понятно: W-такое у этого химического элемента обозначение в таблице Менделеева
--------------------------------------------------
Note added at 15 hrs (2012-01-03 09:15:15 GMT)
--------------------------------------------------
Вот ссылка на использование вольфрамовых покрытий в микроэлектронике:
maltiel-consulting.com/Tungsten_Plug_malt
Microchip Fabrication - Tungsten Plug /Microchip Fabrication ... tungsten is still the preferred metal because its integration into these features is well understood ...
3 KudoZ points awarded for this answer.
Discussion
в виду под plug (защитное, резистивное, или др. покрытие). Поэтому предложил общий вариант. Ну а то, что это вольфрам, понятно: W-такое у этого химического элемента обозначение в таблице Менделеева".
У меня есть ещё вариант: W = wet. wet polishing - мокрое шлифование (полировка)